島津儀器在電子、半導體、汽車行業的應用

2025年03月09日 07:23:36人氣：696來源：廣州市化興科學儀器有限公司

電子


支持電子零部件產品評價、品質管理,介紹用于電子裝置實裝、半導體基板制造工藝中的檢測儀器。
·表面構造解析裝置 ·接點不良/斷線、燒壞 ·腐蝕、剝離/接觸不良、異物
電子探針 EPMA-1600/1610型　　分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型
·異物解析裝置 ·表面污染/異物、污點 ·缺陷 ·膜厚管理
FTIR顯微鏡系統IRPrestige-21
·有害物質測定裝置 ·有害重金屬、薄膜組成 ·不良解析、廢材處理
能量色散型微區X射線熒光光譜儀 µEDX系列　　能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列
·特性測定裝置/粒度測定裝置
差示掃描量熱儀DSC-60系列　　差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列　　對應超微粒子型激光粒度儀SALD-7101
·潔凈室環境監測 ·特定污染源、保持潔凈度 ·微量有機物、微量雜質測定
氣相色譜質譜聯用儀GCMS-QP2010 Plus 　　原子吸收分光光度計AA-6300C 　　總有機碳分析儀燃燒法在線型TOC-V CSH online
·膜厚、光學特性測試裝置 ·膜厚/光學測定
傅里葉變換紅外光譜儀IRPrestige-21 　　紫外可見近紅外分光光度計SolidSpec-3700
·無損X射線檢查裝置 ·高密度實裝/可靠性 ·故障解析
X-ray檢查裝置(透視) 　　X-ray檢查裝置(CT)
·物理特性測試裝置 ·強度測試 ·耐久性測試
小型臺式電子試驗機EZ Test/EZ Graph 　　微小電磁力疲勞試驗機MMT系列
·物理特性測試裝置 ·表面硬度 ·粘性測定 ·天平
超顯微動態硬度計DUH-211/211S 　　毛細管式流變儀CFT-500D/100D 　　分析天平AUW-D系列電子托盤天平UX/UW系列

半導體制造工藝
從前段工藝到后段工藝,島津的半導體制造技術和檢測技術支持不斷創新發展的半導體工藝。特別是在新Low-K材料等面世的同時，對于測試技術的需求日益高漲。高、強電介體成膜用液體材料氣化裝置等新一代的制造裝置系列，以及被廣泛采用的渦輪分子泵等裝置支撐著半導體工業。
·元件分離工藝(前段工藝)
RMS測定、保護膜截面觀察→SPM 　晶片中有機物污染分析→GCMS QP2010SE 　硬度測定→顯微硬度計　膜厚的熱變化→DTG 　保護膜的分子量分析和雜質測定→HPLC ESSENTIA LC 51C 　結晶面的雜質測定、異物檢查→顯微FTIR 　晶片中的氧、碳、磷、硼酸的定量,外延膜膜厚測定、膜中的氫濃度、膜的組成、結晶內的O、C的測定、清洗液雙氧水，氨濃度管理→FTIR 　蝕刻液的雜質測定、清洗液的測定→UV、AA-6300C 　污染測定→XRF、XPS 　回收水、再生水測定→TOC 　微量雜質測定→GC-2014C 　膜厚測定→UV 2450
·晶體管形成工藝(前段工藝)
蝕刻液的雜質測定→AA 6300C 　極薄膜的膜厚測定、組成分析→XRF、XPS 　保護膜的官能團測定→FTIR 　排水管理→TOC 　 HSG的粒徑測定→SPM
·配線形成工藝(前段工藝)
BPSG組成分析 SiN中的H分布測定、深度方向組成分析→XRF、EDX、XPS Al、Cu配線的組成分析→XRF、EDX、XPS
·后段工藝
硬度測定→顯微硬度計　焊接點的表面分析→XPS 　 Al腐蝕解析→SSX 　引線框架電鍍液的管理→AA 6300C 　焊接不良解析→SEM 　拉引線、封裝、焊接線的強度試驗→材料試驗機　缺陷檢查→X射線透視、CT裝置　模樹脂的成形條件評價→流變儀　環氧樹脂的熱硬化測定→DSC 　裝置檢查→檢漏儀

與汽車相關的測試裝置
面向新一代汽車的開發和安全性，滿足開發需求的評價、檢查、試驗裝置,作為綜合分析試驗裝置生產廠家，可為開發人們期待的新一代汽車FCV（燃料電池汽車）予以支持，提案各種裝置群。此外,在可作為汽車燃料電池的固體高分子型燃料電池的開發、因投入基礎設施最少而被注目的改質器的開發、與FCV的實用化相關的新材料的開發評價等方面也可以提供綜合的幫助。
·改性器測試裝置
高靈敏度無機氣體分析裝置GC-2014(PDD)
·無損檢測裝置
微焦點X射線CT系統SMX-3000micro
·熱分析裝置
差示掃描量熱儀DSC-60系列　差熱-熱重同時分析儀DTG-60系列
·燃料電池測試裝置
超顯微動態硬度計DUH-211/211S
·材料強度測試裝置
電子、電裝部件試驗（MMT系列）　電液伺服疲勞試驗機EHF-U系列　液壓試驗機UH-I系列　空氣疲勞試驗機ADT-A系列
·燃料電池測試裝置（表面觀察、組成、構造、膜厚）
分析掃描電子顯微鏡 SSX-550型　多道X射線熒光光譜儀 MXF-2400型　ICP發射光譜儀　X射線衍射儀 XRD-6000型　氛圍控制掃描探針顯微鏡 WET-SPM系列　能量色散型X射線熒光光譜儀 EDX系列　光電直讀光譜儀PDA-7000系列　掃描型X射線熒光光譜儀 XRF-1800型　X-ray檢查裝置（CT）
·粉體物理性質測試裝置
激光粒度儀SALD-2201

關鍵詞：電子探針掃描電子顯微鏡顯微鏡熒光光譜儀光譜儀

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