真空泵日常保養

1. 任何拆裝工作必須由維修技術人員擔任，維修技術人員必須熟悉真空泵浦相關的安全守則，使用適當的裝

    備進行拆解、清潔已經接觸過製程的*件。

2. 真空泵浦未*停止運轉之前，不得移動、拆解組裝以免發生危險，並確認電源已經切斷。

3. 請注意殼體、排氣管及加熱器等溫度較高之元件週遭，以避免人員燙傷。

4. 進行任何拆卸之前，先使用氮氣對真空泵浦作適當的肅清，至少一小時。

5. 本機各元件及管路均可能存有殘留氣體，拆裝前應先確認機組壓力已*排出。

6. 使用過O型環，請勿再使用。小心謹慎處理密封面，禁止刮傷。任何拆裝、維修保養之後，必須測漏試

    驗。

7. 當真空泵浦不當操作、故障、火災或其他因素造成超過260℃時，真空泵浦內部的真空油、真空油脂、O

    型環、表面氟化處理等含氟化合物可能被熱分解，請勿接觸或吸入。

8. 依據環保法規處理真空油、真空油脂、其他廢棄物。