說(shuō)明： 

Formtracer Extreme (超級(jí)表面粗糙度/ 輪廓測(cè)量裝置)CS-5000CNC / CS-H5000CNC

技術(shù)參數(shù):

X1 軸

測(cè)量范圍: 200mm

分辨率: 0.00625μm

檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺

驅(qū)動(dòng)速度: 40mm/s (CNC 模式)0 - 40mm/s (操縱桿控制模式)

測(cè)量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)0.02 - 2mm/s (形狀／輪廓)

移動(dòng)方向: 向前／向后

直線度: (0.1+0.0015L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針

直線度: (0.05+0.0003L)μm、使用標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針(0.2+0.0015L)μm、使用二倍長(zhǎng)型測(cè)針

指示精度 (20°C): ±(0.3+0.002L)μm

指示精度 (20°C): ±(0.16+0.001L)μm

L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)

Z1 軸

測(cè)量范圍: 12mm (標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針)24mm (二倍長(zhǎng)型測(cè)針)

分辨率: 0.001μm (標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針)0.002μm (二倍長(zhǎng)型測(cè)針)

測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形運(yùn)動(dòng)

檢測(cè)方法: 激光全息光柵尺

指示精度 (20°C): ±(0.3+I0.02HI)μm

指示精度 (20°C): ±(0.07+I0.02HI)μm

H 為測(cè)量高度(mm)

測(cè)力: 4mN (標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針)0.75mN (二倍長(zhǎng)型測(cè)針)

跟蹤角度: 向上60° 、 向下60°

(取決于表面粗糙度)

測(cè)針針尖: 半徑: 5μm, 角度： 40°、鉆石

(球型測(cè)針) (半徑: 0.25mm, 藍(lán)寶石)

測(cè)針?lè)较? 向下

Z2 軸(立柱)

測(cè)量范圍: 300mm (500mm：高立柱型)

分辨率: 0.05μm

檢測(cè)方法: 反射型線性編碼器

驅(qū)動(dòng)速度: 200mm/s (CNC 模式)0 - 50mm/s (操縱桿控制模式)

基座尺寸(W x D): 750 x 600mm

基座材料: 花崗巖

尺寸 (W x D x H): 800 x 620 x 1000mm(800 x 620 x 1200mm：高立柱型)

重量: 240kg (250kg：高立柱型)

*CS-H5000CNC

性能參數(shù)

型號(hào)CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC

貨號(hào)* (100V - 120V) 525-721-1 525-722-1 525-723-1 525-724-1

貨號(hào)* (200V - 240V) 525-721-2 525-722-2 525-723-2 525-724-2

X1 軸測(cè)量范圍200mm 200mm 200mm 200mm

Z2 軸垂直行程300mm 300mm 300mm 300mm

Y 軸工作臺(tái)裝置— — 已安裝已安裝

a 軸裝置— 已安裝— 已安裝

型號(hào)CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC

貨號(hào)* (100V - 120V) 525-741-1 525-742-1 525-743-1 525-744-1

貨號(hào)* (200V - 240V) 525-741-2 525-742-2 525-743-2 525-744-2

X1 軸測(cè)量范圍200mm 200mm 200mm 200mm

Z2 軸垂直行程500mm 500mm 500mm 500mm

Y 軸工作臺(tái)裝置— — 已安裝已安裝

a 軸裝置— 已安裝— 已安裝

型號(hào)CS-H5000CNC CS-H5000CNC

貨號(hào)* (100V - 120V) 525-761-1 525-763-1

貨號(hào)* (200V - 240V) 525-761-2 525-763-2

X1 軸測(cè)量范圍200mm 200mm

Z2 軸垂直行程300mm 300mm

Y 軸工作臺(tái)裝置— 已安裝

a 軸裝置— —