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      EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機

      參考價面議
      具體成交價以合同協議為準
      • 公司名稱岱美儀器技術服務(上海)有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地上海
      • 廠商性質其他
      • 更新時間2026/1/31 8:28:33
      • 訪問次數49
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      ??岱美有限公司成立于1989年,是數據存儲,半導體,光學,光伏和航空航天行業制造商和創新研發機構的*設備分銷商。??在21世紀初期,岱美已從我們在中國香港的總部擴展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當今化的市場中,我們的客戶包括連接東南亞各國的綜合供應鏈,我們的專業人員隨時準備與他們會面。??我們的總部設在中國香港,在中國大陸地區(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強大的業務。我們還在馬來西亞,新加坡,中國臺灣地區,菲律賓和泰國等東南亞國 家和地區設有分支機構。岱美擁有訓練有素的工程師,能夠為各地區用戶提供快捷、可靠的技術支持和維修服務;為確保他們的專業知識得以更新及并適應新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術訓練,務求為顧客提供更高質素的售后服務及技術支持。我們的分支機構都已建立數十年,我們的許多客戶對我們與他們建立的長達數十年的合作關系感到滿意。??我們的目標是建立持久的關系,滿足東南亞企業快速增長的需求。對于我們的客戶,我們不僅提供設備,還提供建議和技術指導,以及時了解我們不斷發展的行業的發展。對于我們的供應商,我們提供了深入的銷售網絡和數十年的東南亞復雜商業環境導航經驗。我們將本地客戶與來自歐洲,美國,日本和韓國的*設備與技術連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國大陸地區主要銷售或提供技術支持的產品:??晶圓鍵合機、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、光學三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統、應力檢測儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請聯系我們,了解我們如何開始與您之間的合作,實現您的企業或者組織機構長期發展的目標。注:在大陸地區注冊的公司名稱為:岱美儀器技術服務(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
      EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機基本功能:研發和小規模生產中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝
      EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機 產品信息

        EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機基本功能:研發和小規模生產中的單晶圓光刻膠加工,含旋涂和噴涂等工藝。

      一、 簡介

        EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機在單室設計上可以滿足研發工作,與EVG的自動化系統兼容。EVG101支持zui大300 mm的晶圓,可配置為旋涂或噴涂和顯影。使用EVG的OmniSpray涂層技術,在3D結構晶圓上實現光刻膠或聚合物的共形層,用于互連技術。這確保了高粘度光致光刻膠或聚合物的低材料消耗,同時改善了均勻性并防止了擴散。

      二、EVG101勻膠機技術參數:

        1)晶圓尺寸:高達300mm(12寸)

        2)支持模式:旋涂/ OmniSpray®/生長

        3)晶圓支撐模式:單臂/雙EE/邊緣/翻動

        4)分配模式:

        - 各種分配泵,可覆蓋高達52000cP的各種粘度

        - 恒壓分配系統

        - EBR / BSR /預濕/碗洗/液體灌注

      EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機噴涂結果

      圖1 噴涂結果

      三、EVG101勻膠機特征:

        1)晶圓尺寸可達300 mm

        2)自動旋涂或噴涂或使用手動晶圓裝載/卸載進行顯影

        3)利用從研究到生產的快速簡便的過程轉換

        4)成熟的模塊化設計和標準化軟件

        5)注射器分配系統,用于利用小的光刻膠體積,包括高粘度光刻膠

        6)占地面積小,同時保持高水平的個人和過程安全性

        7)多用戶概念(無限數量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

        8)選項:

        - 采用OmniSpray®涂層技術均勻涂覆晶圓的高表面形貌

        - 用于后續鍵合工藝的蠟和環氧樹脂涂層

        - 旋涂玻璃(SOG)涂層

      EVG101_勻膠機_光刻膠涂膠機噴涂結構

      圖2 噴涂形成的金屬結構


      關鍵詞:涂膠機
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