特點：
1.行程大，測量范圍更廣
2.自主開發QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求
3.具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能
4.采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力
5.配置操縱手柄，亦可軟件程控
6.SPC數據處理分析，大批量治具測量
7.X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，運行平穩
8.采用自主開發的嵌入式模塊控制系統，將復雜的控制系統集成于儀器內部，穩定性更高
9.程控恒流驅動式八區表面冷光光源，可適應復雜的工件測量
10.X、Y向導軌采用高精度花崗石，具有高穩定性及剛性，不易變形
11.X、Y向移動的部份采用低摩擦，高速度，高精度的氣浮移動導向系統
12.采用同布帶或絲桿傳動，精度高，穩定性好
13.花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損
14.可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷
技術規格參數:
長度單位：mm | |||
| 參數/機型 | VMS-6060H | VMS-6090H | |
| 工作臺 | X,Y軸行程 | 600×600 | 600×900 |
| Z軸行程 | 200調焦及輔助測量 | ||
| 玻璃臺尺寸 | 640×770 | 640×1070 | |
| 工作氣壓 | ≥0.5MPa | ||
數字測量系統 | 光柵尺分辨力：X、Y、Z軸0.0005 | ||
0.7~4.5×變焦鏡頭，總視頻放大倍率為20~128× | |||
X,Y軸馬達運動速度 | <300mm/s | ||
Z軸馬達運動速度 | <50mm/s | ||
儀器外形尺寸(L×W×H) | 1500×1300×1510 | 1800×1300×1510 | |
儀器重量(Kg) | 1281 | 1500 | |
