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中端探針臺
產品簡介：
探針臺是一種輔助執行機構，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準扎到被測點，從而使其訊號線與外部測試機導通，通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。
產品特點及應用：
◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等；
◆ 可用于8英寸以內樣品測試；
◆ 同軸絲杠傳動結構，線性移動；
◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動；
◆ 可升級做射頻，大電流方面的測試和激光修復應用；
技術參數：
臺體規格 | |
尺寸 | 4英寸/6英寸/8英寸 |
水平旋轉 | 可360°旋轉，可微調15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 4英寸×4英寸/6英寸×6英寸 |
X-Y移動精度 | 10μm/1μm |
樣品臺Z軸調節 | 可升降10mm |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環 |
針座平臺 | U型針座平臺，zuiduo可放置6個探針座 |
背電極測試 | 樣品臺電學獨立懸空，4mm插孔可接背電極 |
外形尺寸 | 400mm長*400mm寬*600mm高/580mm長*480mm寬*600mm高 |
設備重量 | 約20KG |
光學系統 | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質 | 鎢鋼；鈹銅 |
可選附件：
加熱臺；
顯示器；
轉接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
高壓測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統；
探針卡夾具；
探針臺可根據客戶要求定制
Huace-6 中端探針臺
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